中圖儀器SJ6000導(dǎo)軌直線度激光干涉測量儀利用激光干涉現(xiàn)象來實(shí)現(xiàn)非接觸式測量，具有高精度、高分辨率、快速測量等優(yōu)點(diǎn)，具有實(shí)時(shí)性測量能力，能夠同時(shí)測量多個(gè)位置或參數(shù)，提高測量效率。

直線度測量原理

▲直線度測量的光路原理構(gòu)建圖

直線度干涉鏡在移動(dòng)過程中產(chǎn)生橫向或縱向位移時(shí)，兩束反射光會(huì)有相對(duì)應(yīng)的光程差產(chǎn)生，SJ6000采集到該光程差的干涉信號(hào)，經(jīng)過運(yùn)算處理，即可得出對(duì)應(yīng)的直線度值。

直線度測量配置及使用方法

直線度測量配置主要由SJ6000主機(jī)、短直線度鏡組（或長直線度鏡組）、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構(gòu)成，可滿足±3mm范圍內(nèi)的直線度測量。

▲運(yùn)動(dòng)軸的橫向直線度測量示意圖

▲運(yùn)動(dòng)軸的縱向直線度測量示意圖

直線度測量應(yīng)用

▲SJ6000激光干涉儀測量導(dǎo)軌的直線度

SJ6000導(dǎo)軌直線度激光干涉測量儀使用高性能氦氖激光器，結(jié)合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，達(dá)到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm)。結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測量軟件配合下，可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測量與性能檢測，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

產(chǎn)品功能

（1）可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量；

（2）可檢測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；

（3）可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn)；

（4）可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；

（5）具有動(dòng)態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；

（6）支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。

部分技術(shù)規(guī)格

平面度測量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組

平行度測量配置需求：依據(jù)軸向量程范圍，選擇相應(yīng)直線度鏡組即可

短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求：短直線度鏡組＋垂直度鏡組

長垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求：長直線度鏡組＋垂直度鏡組

直線度附件：主要應(yīng)用于Z軸的直線度測量和垂直度測量

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